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文档资料超声波干洗机应用于LCD生产中的优势摘要：超声波干洗机其原理是由两个喷嘴产生的高压风刀有效的清除1.6-100μm的尘粒.这些尘粒从两个方向被吸附至真空腔.由于高速气流使工件表面形成了一层粘膜,而超声波能将被吸附在粘膜上的微粒分离出来，*后吸至真空腔。
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